XYZT Gantry Motion Stage สำหรับการตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์
Suzhou Deaote Precision Mould Co., Ltd. ตั้งอยู่ในเขต Wuzhong เมืองซูโจว มณฑลเจียงซู เป็นผู้ผลิตชั้นนำของ XYZT Gantry Motion Stage ที่มีความแม่นยำสูงสำหรับการใช้งานในการตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ ด้วยความเชี่ยวชาญด้านการตัดเฉือนที่แม่นยำและการควบคุมการเคลื่อนไหวมากว่า 18 ปี เรามีความเชี่ยวชาญในการผลิตระบบกำหนดตำแหน่งโครงสำหรับตั้งสิ่งของ 4 แกน (X/Y/Z/Theta) แบบกำหนดเองที่ให้ความแม่นยำระดับต่ำกว่าไมครอนสำหรับอุปกรณ์ตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ 200 มม., 300 มม. และ 450 มม.
XYZT Gantry Motion Stage สำหรับการตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์รวมฐานหินแกรนิตที่มีความแข็งแกร่งสูง รางลูกปืนลม มอเตอร์ขับเคลื่อนเชิงเส้นตรง และเครื่องเข้ารหัสแบบออปติคอลที่มีความแม่นยำ เพื่อให้ได้ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง ±1µm และความสามารถในการทำซ้ำ ±0.1µm ออกแบบมาเพื่อการทำงานตลอด 24 ชั่วโมงทุกวันในสภาพแวดล้อมห้องปลอดเชื้อ (คลาส 100/คลาส 10) โครงสำหรับตั้งสิ่งของของเรามีการสั่นสะเทือนต่ำเป็นพิเศษ การตอบสนองไดนามิกสูง (ความเร็วสูงสุด 500 มม./วินาที) และความเสถียรทางความร้อน เพื่อให้มั่นใจในการตรวจจับข้อบกพร่องของแผ่นเวเฟอร์ที่เชื่อถือได้และมาตรวิทยาเชิงมิติตลอดวงจรชีวิตการผลิตทั้งหมด
● XYZT Gantry Motion Stage แบบกำหนดเองสำหรับการตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ที่ออกแบบตามข้อกำหนดของอุปกรณ์ตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์และแบบ CAD ของคุณ
● ความแม่นยำของตำแหน่ง ±1µm พร้อมความสามารถในการทำซ้ำระดับนาโนเมตร (±0.1µm) สำหรับการวัดเวเฟอร์ที่สำคัญ
● เทคโนโลยีลูกปืนลมเพื่อการเคลื่อนไหวที่ไร้แรงเสียดทานและการสร้างอนุภาคเป็นศูนย์ในสภาพแวดล้อมห้องสะอาด
● การออกแบบที่มีความเสถียรทางความร้อนพร้อมระบบควบคุมอุณหภูมิแบบแอคทีฟ (±0.01°C) เพื่อความแม่นยำสูงเป็นพิเศษ
● การผลิตที่ได้รับการรับรองมาตรฐาน ISO 9001:2015 พร้อมการตรวจสอบย้อนกลับได้อย่างสมบูรณ์สำหรับการปฏิบัติตามข้อกำหนดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
คุณสมบัติหลักและข้อดีหลัก
การออกแบบกลไกที่มีความแข็งแกร่งสูง
XYZT Gantry Motion Stage สำหรับการตรวจสอบเวเฟอร์มีฐานหินแกรนิตเสาหิน (สัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อน < 0.5 × 10⁻⁶/°C) และคานโครงสำหรับตั้งสิ่งของโพลีเมอร์เสริมคาร์บอนไฟเบอร์ (CFRP) เพื่อความแข็งแกร่งของโครงสร้างที่โดดเด่นและการเสียรูปเนื่องจากความร้อนน้อยที่สุด การออกแบบโครงสำหรับตั้งสิ่งของแบบสมมาตรช่วยลดข้อผิดพลาดของ Abbe และรับประกันการกระจายน้ำหนักที่สม่ำเสมอทั่วทั้งพื้นที่การตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์
ระบบควบคุมการเคลื่อนไหวที่แม่นยำ
เมื่อผสานรวมกับระบบขับเคลื่อนมอเตอร์แนวราบประสิทธิภาพสูง (แบ็คแลชเป็นศูนย์ การเร่งความเร็วสูง) และตัวเข้ารหัสออปติคัลสัมบูรณ์ (ความละเอียด 1 นาโนเมตร) โครงสำหรับตั้งสิ่งของ XYZT ของเราให้การเคลื่อนไหวที่ราบรื่นและแม่นยำด้วยความแม่นยำระดับต่ำกว่าไมครอน อัลกอริธึมการควบคุมเซอร์โวขั้นสูงจะชดเชยข้อผิดพลาดแบบไดนามิก และรับประกันความเสถียรของตำแหน่งระดับนาโนเมตรระหว่างการดำเนินการสแกนเวเฟอร์
การออกแบบที่พร้อมสำหรับห้องคลีนรูม
Gantry Motion Stage ของ XYZT ทุกตัวสำหรับการตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมสำหรับการทำงานในห้องปลอดเชื้อคลาส 100/คลาส 10 โดยมีส่วนประกอบที่เข้ากันได้กับสุญญากาศ ตัวนำทางเชิงเส้นตรงแบบปิดผนึก และวัสดุที่มีการปล่อยก๊าซต่ำ (สอดคล้องกับ SEMI S2-0701) เทคโนโลยีตลับลูกปืนลมช่วยลดการสร้างอนุภาค ในขณะที่ระบบจัดการสายเคเบิลแบบปิดป้องกันการปนเปื้อนในระหว่างรอบการตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ความเร็วสูง
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
|
แบบจำลองเวทีโครงสำหรับตั้งสิ่งของ XYZT |
ระยะการเดินทาง (X/Y/Z/ทีต้า) |
ข้อมูลจำเพาะด้านประสิทธิภาพ |
|
DT-WI200 (เวเฟอร์ 200 มม.) |
300×300×50มม. / ±3° |
ความแม่นยำ ±1µm, ความสามารถในการทำซ้ำ ±0.1µm, ความเร็ว 500 มม./วินาที, ความเร่ง 5 ม./วินาที² |
|
DT-WI300 (เวเฟอร์ 300 มม.) |
400×400×75มม. / ±3° |
ความแม่นยำ ±1.5µm, ความสามารถในการทำซ้ำ ±0.2µm, ความเร็ว 400 มม./วินาที, การเร่งความเร็ว 4 ม./วินาที² |
|
DT-WI450 (เวเฟอร์ 450 มม.) |
500×500×100มม. / ±3° |
ความแม่นยำ ±2µm, ความสามารถในการทำซ้ำ ±0.3µm, ความเร็ว 300 มม./วินาที, การเร่งความเร็ว 3 ม./วินาที² |
|
DT-WI-กำหนดเอง (กำหนดเอง) |
กำหนดเองตามความต้องการ |
ความแม่นยำ/ความสามารถในการทำซ้ำที่ปรับแต่งได้ ความเร็ว/ความเร่งที่กำหนดเอง ระดับห้องคลีนรูมเฉพาะทาง |
ข้อมูลจำเพาะทางกล
วัสดุฐาน: หินแกรนิตสีดำ (00级) / คอมโพสิต CFRP
ระบบนำทาง: ตลับลูกปืนอากาศที่มีความแม่นยำ / คู่มือลูกกลิ้งเชิงเส้น
ระบบขับเคลื่อน: มอเตอร์เชิงเส้นไร้แปรงถ่าน / เซอร์โวมอเตอร์พร้อมบอลสกรู
ข้อเสนอแนะ: ตัวเข้ารหัสแสงแบบสัมบูรณ์ (ความละเอียด 1 นาโนเมตร)
ข้อมูลจำเพาะด้านสิ่งแวดล้อม
● อุณหภูมิในการทำงาน: 20±0.5°C (ระบบควบคุมความร้อนแบบแอคทีฟ)
● ระดับคลีนรูม: คลาส 100 (ISO คลาส 5) / คลาส 10 (ISO คลาส 4)
● การแยกการสั่นสะเทือน: ระบบควบคุมการสั่นสะเทือนแบบแอคทีฟ/พาสซีฟ
● แหล่งจ่ายไฟ: 200-240V AC, 50/60Hz, 1 เฟส/3 เฟส
การใช้งาน
● การสแกนเวเฟอร์ความเร็วสูง 200 มม./300 มม./450 มม. เพื่อหาข้อบกพร่องของอนุภาคและรูปแบบ
● การวางตำแหน่งระดับนาโนเมตรสำหรับระบบตรวจจับข้อบกพร่องด้านแสง/กล้องจุลทรรศน์
● การชดเชยความเรียบแบบไดนามิกสำหรับการตรวจสอบเวเฟอร์ที่บิดเบี้ยว
● บูรณาการกับการสแกนด้วยเลเซอร์และเครื่องมือตรวจสอบด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน
มาตรวิทยาเวเฟอร์
มาตรวิทยามิติเวเฟอร์
● การวัดที่แม่นยำของความหนาของแผ่นเวเฟอร์ ส่วนโค้ง และพารามิเตอร์ความโค้ง
● การจัดระดับต่ำกว่าไมครอนสำหรับระบบมาตรวิทยาแบบโอเวอร์เลย์
● การวางตำแหน่งที่เสถียรทางความร้อนสำหรับมาตรวิทยาที่ไวต่ออุณหภูมิ
● มาตรวิทยาอินไลน์อัตโนมัติสำหรับกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์
การประมวลผลเวเฟอร์
การแปรรูปและการจัดการเวเฟอร์
● การจัดตำแหน่งที่มีความแม่นยำสูงสำหรับการพิมพ์หินเวเฟอร์และกระบวนการแกะสลัก
● ระบบการจัดการและถ่ายโอนแผ่นเวเฟอร์ที่เข้ากันได้กับห้องคลีนรูม
● การวางตำแหน่งแบบไดนามิกสำหรับการตัดด้วยเลเซอร์และการทำให้ผอมบางด้วยแผ่นเวเฟอร์
● บูรณาการกับการจัดการเวเฟอร์หุ่นยนต์และระบบอัตโนมัติ
แท็กยอดนิยม: ประเทศจีน XYZT Gantry Motion Stage สำหรับผู้ผลิตตรวจสอบเวเฟอร์, ผู้จัดจำหน่าย, โรงงาน
ส่งคำถาม
ข้อมูลติดต่อ
-
ที่อยู่
อาคาร 5 สวนผู้ประกอบการ Yuewang เลขที่ 2011 ถนน Tian'e Dang ถนน Hengjing เขตพัฒนาเศรษฐกิจ Wuzhong ซูโจว มณฑลเจียงซู จีน
-
โทร
-
อีเมล
กำลังมองหาราคาขายส่งที่เหมาะสมอยู่ใช่ไหม? ส่งภาพวาดหรือตัวอย่างของคุณไปที่ Deaote ทันที ทีมงานมืออาชีพของเราให้ข้อเสนอแนะอย่างรวดเร็วและเสนอราคาโดยตรงจากโรงงานคุณภาพสูง
