โมดูลมอเตอร์เชิงเส้นหินอ่อนแกนคู่

สร้างขึ้นบนฐานหินแกรนิตเกรด 00 (เลือกเนื่องจากค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำและคุณสมบัติการลดแรงสั่นสะเทือน) โมดูลมอเตอร์เชิงเส้นตรงลายหินอ่อนแกนคู่นี้รวมแกนมอเตอร์เชิงเส้นตรงประสิทธิภาพสูงสองแกนเข้ากับตัวนำแบริ่งอากาศเพื่อให้ความแม่นยำซ้ำ ±0.5μm เหมาะสำหรับการพิมพ์หินเซมิคอนดักเตอร์ การตัดเฉือนไมโครด้วยเลเซอร์ การตรวจสอบด้วยแสง และระบบมาตรวิทยาที่มีความแม่นยำ

ออกแบบมาเพื่อจัดการกับข้อจำกัดของขั้นตอนสองแกนที่ทำจากอะลูมิเนียมหรือเหล็ก (การดริฟท์ความร้อน การสั่นสะเทือน ความแข็งแกร่งต่ำ) โมดูลมอเตอร์เชิงเส้นตรงลายหินอ่อนแกนคู่ของเรากำจัดการเสียรูปทางกลไกภายใต้การเคลื่อนที่ด้วยความเร็วสูง (สูงถึง 2 ม./วินาทีต่อแกน) และรักษาความแม่นยำที่สม่ำเสมอตลอดอุณหภูมิการทำงาน (-10°C ถึง 40°C) ระบบควบคุมซิงโครนัสแกน X-Y (ใช้ EtherCAT) ช่วยให้สามารถซิงโครไนซ์การเคลื่อนไหวระดับนาโนเมตรได้ ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อกระบวนการที่มีความแม่นยำสูงเป็นพิเศษ เช่น การบรรจุชิปขนาด 7 นาโนเมตร การสร้างส่วนประกอบไมโครออปติคอล และการวัด 3 มิติขั้นสูง

ผลิตภายใต้มาตรฐานคุณภาพแสง ISO 9001:2015 และ ISO 10110 โมดูลมอเตอร์เชิงเส้นตรงลายหินอ่อนแกนคู่มีระบบจัดการสายเคเบิลแบบปิดผนึก การเคลือบป้องกันไฟฟ้าสถิต และตัวเลือกที่เข้ากันได้กับสุญญากาศ (สำหรับการใช้ห้องปลอดเชื้อเซมิคอนดักเตอร์) สามารถใช้งานร่วมกับตัวควบคุมการเคลื่อนไหวชั้นนำของอุตสาหกรรม (Aerotech, PI, Newport) และระบบมาตรวิทยา (เลเซอร์อินเทอร์เฟอโรมิเตอร์ของ Renishaw) โดยจะผสานรวมเข้ากับสายการผลิตที่มีความแม่นยำสูงเป็นพิเศษได้อย่างราบรื่น ช่วยเพิ่มผลผลิตของกระบวนการได้สูงสุดถึง 20% เมื่อเทียบกับแท่นสองแกนฐานโลหะทั่วไป

ซีรี่ส์ผลิตภัณฑ์

ซีรีส์ DT-GM-DX1 (ความแม่นยำขนาดกะทัดรัด)

ช่วงการเคลื่อนที่ของ X-Y: 100×100 มม. ถึง 500×500 มม. ความแม่นยำในการทำซ้ำ ±0.5μm ความเร็วสูงสุด 1m/s ต่อแกน เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการตัดเฉือนส่วนประกอบไมโครออปติก มาตรวิทยาที่มีความแม่นยำ บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ขนาดเล็ก

ซีรีส์ DT-GM-DX2 (ความเร็วสูงช่วงกลาง)

ช่วงการเคลื่อนที่ X-Y: 500×500 มม. ถึง 1,000 × 1,000 มม. ความแม่นยำในการทำซ้ำ ±1μm ความเร็วสูงสุด 2m/s ต่อแกน เหมาะสำหรับการตัดเฉือนไมโครด้วยเลเซอร์, การซ่อมแซมแผง LCD, การตรวจสอบด้วยแสงรูปแบบขนาดกลาง

ซีรีส์ DT-GM-DX-VAC (รองรับการใช้งานระบบสุญญากาศ)

ช่วงการเคลื่อนที่ X-Y: 100×100 มม. ถึง 800×800 มม. ความแม่นยำในการทำซ้ำ ±0.5μm อัตราสุญญากาศ 10⁻⁶ mbar ออกแบบมาสำหรับการใช้งานในห้องปลอดเชื้อเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบสูญญากาศ และระบบจำลองอวกาศ

ข้อดีหลัก

1. ฐานหินแกรนิตเกรด 00 เพื่อความมั่นคงที่ไม่มีใครเทียบได้

สร้างจากหินแกรนิตธรรมชาติเกรด 00 (ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อน ≤0.5×10⁻⁶/℃) ฐานให้ความเสถียรทางความร้อนเป็นพิเศษ (≤0.001มม./℃) และการลดการสั่นสะเทือน (ลดทอนการสั่นสะเทือนความถี่สูงลง 80%) ซึ่งจะช่วยขจัดการเคลื่อนตัวของความร้อนและการสั่นพ้องทางกล—ปัญหาทั่วไปเกี่ยวกับขั้นตอนที่เป็นโลหะ—ในกระบวนการผลิตที่มีความแม่นยำสูงเป็นพิเศษ

2. ความแม่นยำระดับ Sub-Micron พร้อมไกด์ Air-Bearing

ระบบนำเชิงเส้นตรงแบบแบริ่งอากาศในตัว (แทนตลับลูกปืนแบบเดิม) ช่วยลดการเสียดสีและการสึกหรอ ทำให้ได้รับความแม่นยำในการวางตำแหน่งซ้ำ ±0.5μm และความละเอียด 1 นาโนเมตร (ผ่านตัวเข้ารหัสสัมบูรณ์ของ Renishaw) การออกแบบแบบไม่สัมผัสช่วยให้มั่นใจได้ถึงการทำงานที่ไม่ต้องบำรุงรักษามากกว่า 100 ล้านรอบ ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการผลิตที่มีความแม่นยำสูงพิเศษในปริมาณมาก

3. การควบคุมการเคลื่อนไหวแบบซิงโครนัสแกน XY

การควบคุมการเคลื่อนไหวแบบเรียลไทม์ที่ใช้ EtherCAT ช่วยให้สามารถซิงโครไนซ์ระดับนาโนเมตรระหว่างแกน X และ Y (ข้อผิดพลาดในการซิงโครไนซ์ ≤50nm) รองรับโปรไฟล์การเคลื่อนไหวที่ซับซ้อน (การประมาณค่าแบบวงกลม การสแกนแบบเกลียว) ซึ่งจำเป็นสำหรับการตัดเฉือนไมโครด้วยเลเซอร์และการสร้างลวดลายแบบออปติคอล สถาปัตยกรรมแบบเปิดเข้ากันได้กับซอฟต์แวร์เคลื่อนไหวของบุคคลที่สาม (LabVIEW, MATLAB)

4. ความแข็งแกร่งสูงและการเปลี่ยนรูปต่ำ

โครงสร้างหินแกรนิตเสริมแรงพร้อมซี่โครงในตัวให้ความแข็งแกร่ง ≥300N/μm ลดการโก่งตัวภายใต้โหลดแบบไดนามิก (สูงสุด 50 กก. ต่อแกน) ความเสถียรนี้รับประกันความแม่นยำสม่ำเสมอแม้ในระหว่างการเร่งความเร็วสูง (1g) ลดความแปรผันของกระบวนการและเพิ่มผลผลิตของผลิตภัณฑ์

5. ปรับแต่งได้สำหรับการใช้งานที่มีความแม่นยำสูง

ปรับแต่งช่วงการเคลื่อนที่ได้เต็มรูปแบบ (100×100 มม. ถึง 1000×1000 มม.) ความละเอียดของตัวเข้ารหัส (1 นาโนเมตร ถึง 1μm) ความเข้ากันได้ของสุญญากาศ (10⁻³ ถึง 10⁻⁶ mbar) และการตกแต่งพื้นผิว (Ra ≤0.02μm) คุณสมบัติเสริม ได้แก่ การเคลือบป้องกันไฟฟ้าสถิต วัสดุที่เข้ากันได้กับห้องคลีนรูม และเลเซอร์อินเตอร์เฟอโรเมทรีในตัวสำหรับการสอบเทียบในแหล่งกำเนิด

6. ความน่าเชื่อถือระดับอุตสาหกรรมสำหรับการใช้งานในห้องคลีนรูม

เกรดการป้องกัน IP67 (มาตรฐาน) / IP68 (รุ่นสุญญากาศ) การเคลือบป้องกันไฟฟ้าสถิต (10⁶-10⁹ Ω/sq) และการปล่อยอนุภาคต่ำ (ตามมาตรฐานห้องคลีนรูม Class 1) ทำให้เหมาะสำหรับโรงงานเซมิคอนดักเตอร์และห้องคลีนรูมการผลิตเชิงแสง MTBF ≥40,000 ชั่วโมงภายใต้การดำเนินการต่อเนื่อง ลดต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของ (TCO) ลง 30% ในระยะเวลา 5 ปี

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค

ฐานหินแกรนิต (เกรด 00) ±0.5μm ความแม่นยำในการวางตำแหน่งซ้ำ แกน X-Y การเคลื่อนที่แบบซิงโครนัส ความเสถียรทางความร้อน (≤0.001มม./℃) ความแข็งแกร่งสูง (≥300N/μm)

สถานการณ์การใช้งาน

โมดูลมอเตอร์เชิงเส้นตรงลายหินอ่อนแกนคู่ของ Deaote ได้รับการออกแบบมาเพื่อการผลิตที่มีความแม่นยำสูงเป็นพิเศษในภาคส่วนเทคโนโลยีขั้นสูงทั่วโลก:

● เซมิคอนดักเตอร์และไมโครอิเล็กทรอนิกส์: บรรจุภัณฑ์ชิป 7 นาโนเมตร/5 นาโนเมตร การตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ การจัดตำแหน่งการพิมพ์หิน การผลิตอุปกรณ์ MEMS

● การผลิตด้านแสง: การตัดเฉือนส่วนประกอบไมโครออปติคอล (เลนส์ ปริซึม) การประกอบอาร์เรย์ใยแก้วนำแสง การสร้างลวดลายด้วยเลเซอร์ของพื้นผิวแก้ว

● มาตรวิทยาที่แม่นยำ: การวัดด้วยแสง 3 มิติ ระยะการเคลื่อนที่ของเครื่องวัดพิกัด (CMM) การทำโปรไฟล์พื้นผิวระดับนาโนเมตร

● การตัดเฉือนไมโครด้วยเลเซอร์: การระเหยด้วยเลเซอร์ การเจาะระดับไมโคร การแกะสลักวัสดุแข็งอย่างแม่นยำ (ซิลิคอน แซฟไฟร์ เซรามิก)

● การบินและอวกาศและการป้องกัน: การผลิตไมโครเซ็นเซอร์ การสอบเทียบส่วนประกอบการนำทางเฉื่อย การประกอบระบบแสงดาวเทียม

เกี่ยวกับ ดีโอเต้

Suzhou Deaote Precision Mould Co., Ltd. คือองค์กรเทคโนโลยีขั้นสูงชั้นนำที่เชี่ยวชาญด้านการวิจัยและพัฒนา การผลิต และการขายส่วนประกอบการเคลื่อนไหวที่มีความแม่นยำสูง โดยมุ่งเน้นที่โมดูลมอเตอร์เชิงเส้นตรงที่ใช้หินแกรนิตสำหรับตลาดเซมิคอนดักเตอร์ ออปติก และการบินและอวกาศทั่วโลก ด้วยความเชี่ยวชาญกว่า 15 ปีในการออกแบบแม่พิมพ์ที่มีความแม่นยำและระบบการเคลื่อนไหวที่มีความแม่นยำสูง เราให้บริการลูกค้าทั่วยุโรป อเมริกาเหนือ ญี่ปุ่น และเกาหลีในภาคการผลิตระดับไฮเอนด์

โมดูลมอเตอร์เชิงเส้นตรงลายหินอ่อนแกนคู่ของเราได้รับการพัฒนาในห้องปฏิบัติการ R&D การเคลื่อนไหวที่มีความแม่นยำสูงพิเศษของเราโดยเฉพาะ โดยใช้ประโยชน์จากการตัดหินแกรนิตขั้นสูง (พิกัดความเผื่อ ±0.001 มม.) การปรับเทียบด้วยเลเซอร์ และเทคโนโลยีการประกอบตลับลูกปืนอากาศเพื่อให้ได้ความแม่นยำระดับต่ำกว่าไมครอน เราให้บริการปรับแต่งแบบครบวงจร ตั้งแต่การออกแบบโมดูลและการสร้างต้นแบบ ไปจนถึงการสอบเทียบถึงสถานที่และการสนับสนุนทางเทคนิคทั่วโลก เพื่อให้มั่นใจว่าโซลูชันของเราตรงตามข้อกำหนดเฉพาะของสายการผลิตที่มีความแม่นยำสูงพิเศษ

Deaote มุ่งมั่นที่จะ "แม่นยำในระดับนาโนเมตร มีเสถียรภาพตลอดอายุการใช้งาน" โดยลงทุน 20% ของรายได้ต่อปีในการวิจัยและพัฒนา เพื่อพัฒนาโซลูชันการเคลื่อนไหวที่มีความแม่นยำสูงพิเศษแห่งอนาคต โรงงานผลิตที่ได้รับการรับรองมาตรฐาน ISO 9001:2015 และ ISO 10110 และเครือข่ายการบริการทั่วโลกรับประกันเวลาตอบสนองที่รวดเร็ว (≤48 ชั่วโมง) และการสนับสนุนด้านเทคนิคในท้องถิ่น ทำให้เราเป็นพันธมิตรที่เชื่อถือได้สำหรับผู้ผลิตอุปกรณ์ความแม่นยำสูงพิเศษระดับไฮเอนด์ทั่วโลก